Визуальный контроль технологического оборудования для сборки маммографического детектора

ВИЗУАЛЬНЫЙ КОНТРОЛЬ ПРОЦЕССА СОВМЕЩЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ СБОРКЕ МАММОГРАФИЧЕСКОГО ДЕТЕКТОРА

Компания «Малленом Системс» в 2013-2014 гг. выполнила проект по разработке математического и программного обеспечения системы визуального контроля технологического оборудования для сборки маммографического детектора.

Основная задача системы - контроль процесса совмещения четырёх кремниевых пластин. 

Перед началом контроля пластины устанавливаются вручную с помощью специальной оснастки на расстояние «край-край», равное примерно 2 мм. Затем пластины сдвигаются друг к другу для получения физического зазора между ними 20-30 мкм и 50 мкм между активными областями. После этого пластины фиксируются.

С помощью ПО ведется видеоконтроль процесса сближения четырех кремниевых пластин с начального расстояния 2 мм до конечного 50 мкм между краями пиксельных зон с погрешностью ±2 мкм. Видеоконтроль ведется в пяти точках (четыре камеры наблюдают вершины «креста» и одна – центр схождения всех четырех пластин). Целью сближения является получение «креста» шириной в 50 мкм. Схема размещения видеокамер относительно пластин представлена на рисунке:

При получении запроса программа автоматически рассчитывает текущее расстояние между пластинами по изображению с каждой подключенной камеры. Результат расчета автоматически отправляется обратно на компьютер-потребитель. При этом если текущее расстояние меньше минимального (с учетом допустимой ошибки), раздается звуковой сигнал. После расчета на изображении появляются детектированные границы пластин и расчетное значение расстояния между пластинами.